Hjem - Produkter - Semi-ledere - Quartz Furnace Tube - Detaljer

Kvarts trykrør

Overlegen ydeevne til borosilikat- eller metalalternativer
Fremragende afgasningsegenskaber (mindre end eller lig med 10⁻¹¹ Torr·L/s·cm²)
Minimal termisk udvidelse (0,55×10⁻⁶/grad)
Tilpasselige geometrier og tilslutningsmuligheder

Send forespørgsel

Beskrivelse

Produktegenskaber

Ultra-højvakuumkompatibilitet:

Designet til drift fra atmosfærisk tryk ned til 10⁻⁶ Torr

Præcisionsteknik:

Ensartet vægtykkelse inden for ±0,1 mm for ensartet ydeevne

Termisk udholdenhed:

Bevarer strukturel integritet fra -200 grader til 1000 grader

Kemisk renhed:

99,999% smeltet kvarts konstruktion med<1ppb metallic contaminants

Optisk gennemsigtighed:

>90% lystransmission (190-2500nm) til procesovervågning

Trykfast-design:

Forstærket struktur modstår 2 bar eksternt trykforskel

Funktionelle egenskaber

Højt-vakuumprøveindeslutning og -overførsel
Negativt tryk kemisk behandling
Anvendelser til høje-vakuumovne
Reaktionskamre med inert atmosfære
Lækagefrie-gas-/dampleveringssystemer

Ansøgninger

Udstyr til fremstilling af halvledere
Tyndfilmsaflejringssystemer
Vakuumdestillationsopsætninger
Analytiske instrumentprøvekamre
Kemisk behandling med høj-renhed
Fotovoltaisk fremstilling

Fordele

Overlegen ydeevne til borosilikat- eller metalalternativer
Fremragende afgasningsegenskaber (mindre end eller lig med 10⁻¹¹ Torr·L/s·cm²)
Minimal termisk udvidelse (0,55×10⁻⁶/grad)
Tilpasselige geometrier og tilslutningsmuligheder

Egenskaber

Fysiske egenskaber	Værdier
Renhed	＞99.99%
Tæthed	2,2 g/cm³
Gennemsigtighed	＞90%
Mohs hårdhed	5.5--6.5
Deformationspunkt	1280 grader
Blødgøringspunkt	1780 grader
Udglødningspunkt	1250 grader
Specifik varme (20 - 350 grad)	670 J/kg. grad
Termisk ledningsevne (20 grader)	1,4W/m. grad
Varmeledningsevne (w/mk, 1000 grader)	1.0-1.2
Brydningsindeks	1.4585
Termisk udvidelseskoefficient	5.5*10 ^-7cm/cm. grad
Varm - arbejdstemperatur	1750--2050 grader
Kort - tjenestetemperatur	1300 grader
Lang - tjenestetemperatur	1100 grader

Kemiske egenskaber	Værdier
Syrebestandig	Stærk syre (undtagen HF), Stærk alkali, organisk opløsning
Høje temperaturer Korrosionsbestandig	Fremragende
Metal Urenhedsindhold	＜5 ppm

Elektriske egenskaber	Værdier
Resistivitet	7*10⁷Ω.cm
Isoleringsstyrke	250~400Kv/cm
Dielektrisk konstant	3.7~3.9
Dielektrisk absorptionskoefficient	＜4*10^-4
Dielektrisk tabskoefficient	＜1*10^-4

Mekaniske egenskaber	Værdier
Kompressionsstyrke	1100 MPa
Bøjningsstyrke	67 MPa
Trækstyrke	48 MPa
Poissons forhold	0.14~0.17
Youngs modul	72000 MPa
Forskydningsmodul	31000 MPa